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[会议论文] 作者：罗跃川,赵妍,沈昌乐,阎大伟,
来源：第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会 年份：2014
系统研究了平面肖特基二极管的制作工艺,对基片制作、欧姆接触、金属阳极制作、表面沟道的制作几个重要步骤做了较多的研究.通过MBE生长了掺杂浓度分别为5×1018cm-3的缓冲层...
[会议论文] 作者：王雪敏,吴卫东,阎大伟,罗跃川,
来源：第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会 年份：2014
亚微米尺寸金属电极在HEMT等半导体电子学器件中有重要的应用,是器件制作中的关键工艺，对器件性能有着重要影响.本文针对HEMT等半导体器件制备需求,开发了双层光刻胶电子束曝...
[会议论文] 作者：阎大伟,罗跃川,王雪敏,吴卫东,
来源：第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会 年份：2014
亚微米尺寸金属电极在HEMT等半导体电子学器件中有重要的应用,是器件制作中的关键工艺，对器件性能有着重要影响.本文针对HEMT等半导体器件制备需求,开发了双层光刻胶电子束曝光工艺，制备出了长度为亚微米量级的金属电极，这为制备高性能半导体电子学器件打下了坚实......
[期刊论文] 作者：黎维华,王雪敏,沈昌乐,彭丽萍,赵妍,阎大伟,吴卫东,唐永建,,
来源：强激光与粒子束 年份：2014
为了满足移动式量子级联激光器太赫兹（QCL-THz）全息成像仪大视场高空间分辨率的技术需求,设计了预放大同轴数字全息光路结构,显微物镜数值孔径为0.707或0.8,放大倍数为6倍,最佳...
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