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[期刊论文] 作者：杨中海,金晓林,
来源：电子科技大学学报 年份：2006
电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟的研究主要集中于3种模型:粒子...
[会议论文] 作者：郑飞腾;杨中海;金晓林;,
来源：第九届真空技术应用学术年会 年份：2006
本文采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,应用静电模型,编写了准三维的模拟程序.该程序能够很好地描述空心阴极内类火花初始放电的演化步骤.得出结论:该阶段电离过...
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