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[期刊论文] 作者：任杰,樊尚春,郭占社,,
来源：微纳电子技术 年份：2007
谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力。由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆...
[期刊论文] 作者：王莹莹,樊尚春,郭占社,蔡晨光,,
来源：中国惯性技术学报 年份：2007
基于谐振式检测方式的高灵敏度、大动态范围、易于与数字电路接口等优点,提出了一种谐振式微机械陀螺的新型结构,研究了其工作原理,得到了双端音叉谐振器（DETF）振动Mathieu方程...
[期刊论文] 作者：郭占社,姜春福,张欲晓,郑德智,,
来源：中国机械工程 年份：2007
为有效模拟基于单晶硅材料的微机电器件摩擦副的摩擦磨损状况，设计了一种分离式片上微摩擦测试机构。该测试机构利用微机电系统体硅工艺及键合技术，把加载机构、测试机构、摩擦......
[期刊论文] 作者：吴昊,孟永钢,苏才钧,郭占社,温诗铸,,
来源：机械强度 年份：2007
利用显微拉曼谱对桥式多晶硅薄膜梁的残余应力进行测量，该多晶硅薄膜采用典型的MEMS（micro-electro-mechanical systems）工艺制造。实验结果表明，多晶硅薄膜梁的中部存在很大的拉...
[期刊论文] 作者：吴昊,孟永钢,苏才钧,郭占社,温诗铸,,
来源：机械强度 年份：2007
为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性，发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统，利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性。实验试件采用MEMS（micro-electr......
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