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[期刊论文] 作者：朱峰,林百志,郁光,段峰,方华,
来源：低温与特气 年份：2021
通过对目前市场主流的六氟化硫气体生产厂商现场色谱检测分析,跟踪特征杂质气体在新气处理过程中的变化趋势,得到了特征杂质气体和气体的变化规律,并指导了六氟化硫生产过程...
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