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[学位论文] 作者：赵旭平,
来源：南京理工大学 年份：2021
针对机械零部件对耐磨薄膜的高温和长寿命要求,设计新一代硬韧宽温域耐磨薄膜具有重要意义。Ta/Ta N具有出色的力学性能和摩擦学性能,被开发应用于切削刀具和关键部件的耐磨防护薄膜。本文采用磁控溅射技术,通过掺杂Hf、W,设计Ta-Hf、Ta-W二元合金及B1-Na Cl岩......
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