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[学位论文] 作者:赵恒利, 来源:云南师范大学 年份:2021
随着科技的不断进步,人们对光电子器件在性能和尺寸方面要求日益提高,从而引发对纳米薄膜材料的研究热潮。二氧化铪(HfO2)薄膜因其具有透射率高、光学带隙大、介电常数高和热稳定性好等优点,成为人们关注的材料之一。如何进一步提高致密性、绝缘性和稳定性,减少薄......
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