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[期刊论文] 作者：谢常青,,
来源：微细加工技术 年份：2006
介绍了第二代PXL的原理和影响光刻分辨率的关键因素,当第二代PXL工艺因子为0.8时,对于50 nm及35 nm节点分辨率,掩模与硅片的间距可以分别达到10 μm和5 μm,表明第二代PXL具...
[期刊论文] 作者：谢常青,,
来源：广东党史 年份：2006
“结交青松枝，砥行碧山石”。这是古人以松树傲霜雪而青翠坚韧，巨石御烈暑风雨而坚实庄重，形象地喻为人品行操守，与知己共勉的名句。用这两句诗来形容马万祺先生和廖承志之相知相......
[期刊论文] 作者：佟军民,胡松,李爱敏,谢常青,,
来源：微细加工技术 年份：2006
描述了波带片/多孔透镜阵列无掩模光刻方法,着重介绍了波带片的几何结构特点和衍射聚焦特性,研究了影响光刻分辨率的因素和使用位相型波带片代替振幅型波带片提高衍射效率的...
[期刊论文] 作者：谢常青,刘明,陈宝钦,叶甜春,
来源：半导体学报 年份：2006
提出了一种全新的移相掩模--侧墙铬衰减型移相掩模(SCAPSM),相对于通常的衰减型移相掩模,其制造工艺仅多两步,却可以较大幅度提高光刻分辨率.采用PROLITH光学光刻模拟软件,参...
[期刊论文] 作者：张立辉,李志刚,刘明,谢常青,叶甜春,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2006
在正统单电子理论的基础上，使用主方程方法，对金属隧道结组成的单电子晶体管进行了I-Vg和I-Va特性曲线的数值模拟。在单电子晶体管中，电子能否隧穿通过势垒，主要是由电子隧穿引起......
[期刊论文] 作者：王德强,曹磊峰,谢常青,叶甜春,,
来源：半导体学报 年份：2006
在硅为衬底材料的自支撑氮化硅薄膜上,采用阴阳图形互换转移技术,先使用电子束直写方法制作成功了最外环为150nm的阳图形微波带片,然后用同步辐射X射线光刻技术复制成功了最...
[期刊论文] 作者：易里成荣,王从舜,谢常青,刘明,叶甜春,
来源：电子器件 年份：2006
利用ISE软件的水动力学模型对不同材料结构的AlAs／GaAs／inGaAs双势垒共振隧穿二极管（DBRTD）直流特性进行了模拟。当势垒厚度、势垒高度、子阱厚度、间隔层厚度、掺杂浓度改变时。......
[期刊论文] 作者：谢常青，刘明，陈宝钦，叶甜春，XieChangqing，LiuMing，ChenBaoqin，YeTianchun,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：易里成荣,王从舜,谢常青,刘明,叶甜春,,
来源：电子器件 年份：2006
利用ISE软件的水动力学模型对不同材料结构的AlAs/GaAs/InGaAs双势垒共振隧穿二极管(DBRTD)的直流特性进行了模拟。当势垒厚度、势垒高度、子阱厚度、间隔层厚度、掺杂浓度改...
[期刊论文] 作者：薛丽君,夏洋,刘明,王燕,邵雪,鲁净,马杰,谢常青,余志平,
来源：半导体学报 年份：2006
考虑AlGaN／GaN材料的自发、压电极化效应和量子效应，通过泊松方程、薛定谔方程和流体力学方程组的数值自治求解方法，对AlGaN／GaN HEMT的二维静态模型与模拟问题进行了研究，得到了......
[期刊论文] 作者：刘明,陈宝钦,谢常青,王丛舜,龙世兵,徐秋霞,李志钢,易里成,
来源：物理 年份：2006
微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度，光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术，同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术，文章介绍......
[期刊论文] 作者：刘明,陈宝钦,谢常青,王丛舜,龙世兵,徐秋霞,李志钢,易里成,
来源：半导体学报 年份：2006
对基于Top-Down加工技术的纳米电子器件如:单电子器件、共振器件、分子电子器件等的研究现状、面临的主要挑战等进行了讨论.采用CMOS兼容的工艺成功地研制出单电子器件,观察...
[期刊论文] 作者：刘明,陈宝钦,谢常青,王丛舜,龙世兵,徐秋霞,李志钢,易里成荣,,
来源：物理 年份：2006
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[期刊论文] 作者：刘明,陈宝钦,谢常青,王丛舜,龙世兵,徐秋霞,李志钢,易里成荣,涂德钰,,
来源：物理 年份：2006
微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术,同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术,文章...
[期刊论文] 作者：刘明，陈宝钦，谢常青，王丛舜，龙世兵，徐秋霞，李志钢，易里成荣，涂德钰，商立伟，LiuMing，ChenBaoqin，XieChangqing，WangCongshun，LongShibing，XuQiuxia,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
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