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[期刊论文] 作者:周兆忠, 郑家锦, 袁巨龙,, 来源:现代制造工程 年份:2005
对修正环形抛光机CMP过程进行运动分析,给出研磨盘上一点相对于工件的速度矢量与轨迹方程.详细讨论研磨盘上不同位置的点的相对轨迹,通过对相对速度的讨论发现,当研磨盘与工...
[期刊论文] 作者:周兆忠, 赵萍, 陈苗青, 袁巨龙,, 来源:新技术新工艺 年份:2005
精密球是圆度仪、陀螺、轴承和精密测量中的重要元件,并常作为精密测量的基准,在精密设备和精密加工中具有十分重要的地位,在精密球体的制造工艺中,关键技术是最后的精密研磨...
[期刊论文] 作者:周兆忠,袁巨龙,郑家锦,吕冰海, 来源:金刚石与磨料磨具工程 年份:2005
氮化铝材料具有较高的热导率和良好的介电性能,机械强度高,热膨胀系数与半导体硅材料相近,非常适于制造大功率或快速半导体器件的散热基片和封装材料.本文采用游离磨料加工方...
[期刊论文] 作者:赵萍,邓乾发,王志伟,吕冰海,袁巨龙, 来源:航空精密制造技术 年份:2005
在精密球偏心V形槽研磨方式的基础上,提出一种新的研磨方式。运动分析结果表明,与偏心V形槽和传统V形槽研磨方式不同,该研磨方式下球坯的自转轴能够在180°范围内摆动,使研磨...
[期刊论文] 作者:周兆忠,赵萍,袁巨龙,王志伟,郑家锦, 来源:制造技术与机床 年份:2005
提出了一种新的不定偏心平面研磨方式,主动驱动工件使其在绕自身回转轴自转的同时,绕垂直于研磨盘表面的轴线公转.该方式涵盖了定偏心研磨和行星轮式双面研磨.对该方式进行了...
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