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[期刊论文] 作者：李雯,谭智敏,薛昕,刘理天,
来源：微纳电子技术 年份：2003
紫外线厚胶光刻技术已广泛应用于3D微机械结构的制作.本文选用AZ4620和SU-8两种光刻厚胶,采用德国卡尔*休斯公司的MA-6双面对准光刻机,对紫外线光刻工艺条件进行了对比研究,...
[期刊论文] 作者：李雯,谭智敏,薛昕,刘理天,
来源：仪器仪表学报 年份：2003
研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用.实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究.结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏...
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