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[期刊论文] 作者：刘柱方, 蒋利民, 汤儆, 张力, 田昭武, 刘品宽, 曲东升,,
来源：微纳电子技术 年份：2003
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[期刊论文] 作者：刘柱方,蒋利民,汤儆,张力,田昭武,刘品宽,曲东升,孙立宁,,
来源：微纳电子技术 年份：2003
主要介绍了一种Cu的CELT加工的化学刻蚀体系和捕捉体系,并通过控制刻蚀时间、刻蚀电流、刻蚀剂浓度、捕捉剂浓度等实验参数和优化电化学模板的制作工艺, 以规整的齿状结构为...
[期刊论文] 作者：刘柱方,蒋利民,汤儆,张力,田昭武,刘品宽,曲东升,孙立宁,叶雄英,周兆英,田中群,
来源：微纳电子技术 年份：2003
主要介绍了一种Cu的CELT加工的化学刻蚀体系和捕捉体系 ,并通过控制刻蚀时间、刻蚀电流、刻蚀剂浓度、捕捉剂浓度等实验参数和优化电化学模板的制作工艺 ,以规整的齿状结构为...
[会议论文] 作者：刘柱方,周兆英,田中群,蒋利民,汤儆,张力,田昭武,刘品宽,曲东升,孙立宁,叶雄英,
来源：中国微米/纳米第六届学术年会 年份：2003
主要介绍了一种Cu的CELT加工的化学刻蚀体系和捕捉体系,并通过控制刻蚀时间、刻蚀电流、刻蚀剂浓度、捕捉剂浓度等实验参数和优化电化学模板的制作工艺, 以规整的齿状结构为模板, 在Cu的表面实现了三维微结构的复制加工,得到了与齿状结构模板互补的三维微结构,......
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