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[期刊论文] 作者：葛益娴,赵伟绩,张鹏,,
来源：半导体光电 年份：2017
提出了一种新型结构的法布里-珀罗(F-P)腔光纤压力传感器。该传感器基于法布里-珀罗多光束干涉,利用压力敏感膜的纵向挠度变化带动位移柱的横向位移运动来改变F-P腔的腔长变...
[期刊论文] 作者：葛益娴,彭波,张鹏,赵伟绩,,
来源：半导体光电 年份：2017
阐述了一种利用阳极键合技术加工的光纤法布里-珀罗MEMS压力传感器的工作原理,建立了考虑阳极键合产生的热应力作用下边界固支的圆膜受外加压力的薄膜形变量公式。利用有限元...
[期刊论文] 作者：姚虹春,叶荣波,彭波,葛益娴,,
来源：半导体光电 年份：2017
提出了一种新型结构的温度传感器,该传感器基于Fabry-Perot干涉和双金属效应。采用MEMS技术制作出线性度好、精度高的光纤MEMS温度传感器。阐述了传感器的工作原理,研究了传...
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