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[期刊论文] 作者：翟艳男,杨坤,张晖,汤艳坤,张丽丽,,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2014
在不同的衬底偏压下,用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了ZrN/Zr/ZrN堆栈结构的阻挡层。研究了Zr层的插入对ZrN扩散阻挡性能的影响,结果表明:随着衬底偏压...
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