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[期刊论文] 作者：苑景润,张萍萍,石建兵,杨高岭,蔡政旭,佟斌,钟海政,董宇平,
来源：高分子通报 年份：2022
光刻是芯片制造的核心步骤，光刻机与光刻胶在光刻过程中是相互依存、缺一不可的。然而，作为与光刻机同等重要的光刻胶得到的关注较少。一方面是因为鲜有新闻媒体报道光刻胶，民众看到的大部分是与光刻机相关的内容，另一方面是因为国内从事光刻胶相关产业研发的公司较......
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