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[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：西安电子科技大学学报 年份：2003
扫描探针显微镜将人类带入原子世界,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况,而且能够按照人类的意图实现原子操纵.回顾了扫描探针显微镜的历史,介绍了目前国际上各种系...
[会议论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：仪器仪表学报 年份：2003
针对MEMS粘附现象,论述了有关粘附问题的研究现状,揭示了粘附的本质和研究范围,介绍了目前研究粘附问题所用的分子动力学、连续介质法、准连续介质法、蒙特卡罗法及纳米压痕...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：仪器仪表学报 年份：2003
针对微电子机械悬臂梁废品率高的问题,从悬臂梁的加工工艺,分析了在不同工作状态,薄膜应力对悬臂梁的刚度影响;建立了薄膜应力的数学模型;通过仿真发现,在悬臂梁的某些加工温...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：仪器仪表学报 年份：2003
随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,尺寸效应对系统的影响越来越明显,如何控制微电子机械中的粘着力,已成为微电子机械系统提高性能、批量生产、走向市场的关键因素.本文首先...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：仪器仪表学报 年份：2003
随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大.本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据Hamaker理论和赫兹理论,用连续方法推导出粘...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：微纳电子技术 年份：2003
针对微加速度计摆片废品率高的问题,从摆片的加工工艺,分析了PWM数字微加速度计温度应力对摆片刚度的影响;发现当摆片工作在不同状态,在某些加工温差段,摆片的刚度出现奇异值...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：机械科学与技术 年份：2003
为解决微机械中“微碰撞”、“纳米接触”问题 ,建立了纳米接触的刚性球 -面模型。根据 Ham aker三个假设和L ennard- Jones势 ,利用连续方法推导出球同平面第一和第 N层原子...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：仪器仪表学报 年份：2003
通过原子、分子操纵,实现在纳米尺度上对材料进行加工,完成单原子、单分子和单电子器件的制作,一直是人们追求的目标.从电场、力和光方面综述了实现原子、分子操纵的原理,重...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：中国机械工程 年份：2003
介绍了目前研究纳米接触问题的方法;根据Hamaker理论,利用连续介质方法,建立了原子力显微镜针尖和试样面接触的包括斥力项的力学模型;对模型进行了仿真,仿真结果同实验现象一...
[期刊论文] 作者：田文超,贾建援,
来源：传感器技术 年份：2003
研究了平面度对微加速度开关触点形貌的影响,建立了触点吸附物理模型,根据微观连续介质理论推导出触点间包含斥力项的吸附力数学模型,经仿真得到吸附力随触点间隙的非线性变...
[期刊论文] 作者：贾建援,田文超,文贵印,
来源：仪器仪表学报 年份：2003
根据机电分析动力学原理,建立了PWM悬臂电容式数字微小型加速度计摆片的机电分析动力学模型;在不同的参数下,经过对其进行大量仿真和计算,发现脉冲宽度产生突变,不再同激励加...
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