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[学位论文] 作者:王启亮, 来源:昆明理工大学 年份:2023
多晶硅作为生产太阳能电池的原材料,重要性不言而喻,近年来其需求量呈大幅增涨趋势。在晶体硅太阳能电池生产的过程中,冶金法具有低成本、低能耗、低污染等优点,但是以目前的工艺技术来看,一些微量杂质元素的去除还需要取得突破,硅中的B、P、Pb、Bi、Ti、Ni等杂......
[期刊论文] 作者:牟草源,李根壮,谢文良,王启亮,吕宪义,李柳暗,邹广田, 来源:电子与封装 年份:2023
金刚石作为一种超宽禁带半导体,是下一代功率电子器件和光电子器件最有潜力的材料之一。然而,高品质、大面积(大于2英寸)单晶衬底的制备仍是金刚石器件产业应用亟待解决的问题。介绍了目前受到广泛关注的微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)获得大尺寸金刚石单晶衬底的......
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