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[期刊论文] 作者:胡少坚, 杨渝书, 王伯文, 来源:集成电路应用 年份:2022
阐述CMOS技术进入深纳米工艺节点,鳍式场效应晶体管以其优异的电学性能成为目前的主流器件。当工艺发展到Fin周期小于40nm时,开展自对准四重图形化技术研究,以实现场效应晶体管的鳍结构显得尤为重要。探讨北方华创公司的NMC 612D刻蚀机,开发了完整的鳍自对准四重图......
[期刊论文] 作者:刘翰宁,王伯文,苑少伟,陈名焜, 来源:交通与运输 年份:2022
道路红线是控规控制线之一,承载着道路等级、线形、宽度等信息,是规划编制和审批的法定依据.为实现高速公路纳入控规目标,提出“先构建高速公路红线一张图、再纳入控规”的两阶段工作路径,针对目前红线数据“不完整、不标准、与审批结合不充分、更新不及时”四......
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