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[期刊论文] 作者:范闪闪,路雪,牛纪伟,于威,傅广生,, 来源:河北工业大学学报 年份:2017
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,制备了一系列从非晶到微晶相变区硅锗合金薄膜,研究了锗烷浓度对相变区及相变边缘硅锗薄膜微观结构和光电特性的影响.结果表明,锗烷...
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