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[期刊论文] 作者：王宇,陈火耀,刘正坤,郑衍畅,洪义麟,付绍军,,
来源：光子学报 年份：2015
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在（100）硅片上制作母光栅尺,并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料,将母......
[期刊论文] 作者：王宇,陈火耀,刘正坤,郑衍畅,洪义麟,付绍军,
来源：光子学报 年份：2015
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺, 并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料, 将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明, 该工艺可重复性高, 复制光栅尺的衍射效率高于母......
[期刊论文] 作者：林继平,刘正坤,洪义麟,蒋晓龙,邱克强,刘颖,徐向东,付绍军,,
来源：强激光与粒子束 年份：2015
针对大面积衍射光学元件制作过程中对光刻胶均匀涂覆的困难，研究弯月面均匀涂胶方法。利用沟槽型弯月面涂胶机，分析影响光刻胶厚度和厚度均匀性的因素。从实验上验证了光刻胶的......
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