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[期刊论文] 作者：林继平,梁榉曦,刘正坤,王庆博,宝剑光,洪义麟,付绍军,,
来源：强激光与粒子束 年份：2014
为实现大面积基片的均匀涂胶，设计组装了一台小型弯月面涂胶样机，实验了200mm×200mm基片的涂胶。利用白光干涉光谱仪扫描测量了弯月面涂胶的胶厚分布，其胶厚均匀性峰谷值偏......
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