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[期刊论文] 作者:谭鑫,刘颖,徐向东,洪义麟,付绍军,, 来源:光学精密工程 年份:2009
利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13.9nm的Laminar分束光栅。光栅的线密度为1000lp/mm,槽深13nm,占宽比0.43,Au膜厚度为40nm左右;当工作波长为13.9nm,入射角为81.2°时,其0......
[期刊论文] 作者:王广林,汪啸,邵春光,洪义麟,李良彬,, 来源:核技术 年份:2009
为了在材料力学性能检测过程中同时观察结构变化,研制了一台微型拉伸装置。该拉伸装置具有体积小、位移精度高(r/65536 step)、拉伸速度精确可调(0.5μm/s-1.5mm/s)等特点。可以在不同......
[期刊论文] 作者:干蜀毅,刘正坤,盛斌,徐向东,洪义麟,刘颍,周洪军,霍同林,, 来源:光子学报 年份:2009
根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术,在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜......
[期刊论文] 作者:干蜀毅,刘正坤,盛斌,徐向东,洪义麟,刘颍,周洪军,霍同林,付绍, 来源:光子学报 年份:2009
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