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[期刊论文] 作者：邱克强,徐向东,洪义麟,刘颖,付绍军,,
来源：微细加工技术 年份：2007
在基片上涂布一层厚度均匀的光刻胶层,是衍射光学元件制作中的一个重要步骤.介绍了目前用于衍射光学元件制作的两种主要涂胶方法--提拉法和旋转法,分析了这两种方法的特点和...
[期刊论文] 作者：田扬超,刘刚,洪义麟,郭育华,熊瑛,阚娅,,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2007
介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站，研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响；对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求；报道了深度同步辐射光刻......
[期刊论文] 作者：刘颖,徐德权,徐向东,周小为,洪义麟,付绍军,,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2007
利用基于射频离子源的离子束刻蚀装置,分别以氩气、三氟甲烷为工作气体,初步研究了离子能量、束流和加速电压等条件对K9、石英、氧化硅薄膜、氧化铪薄膜这4种常用光学材料和...
[期刊论文] 作者：董晓浩,刘颖,赵飞云,徐德权,徐向东,周银贵,汪啸,姚传荣,洪义麟,付绍军,徐朝银,,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2007
针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,...
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