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[报纸论文] 作者：沈荷生,,
来源： 年份：2004
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食Back to yield...
[会议论文] 作者：孙方宏, 张志明, 沈荷生, 郭松寿,,
来源： 年份：2004
CVD金刚石薄膜具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、良好的自润滑性和化学稳定性等优异性能,然而,常规CVD金刚石薄膜是由微米级(几微米到几十微...
[期刊论文] 作者：简小刚,陈明,孙方宏,张志明,沈荷生,
来源：稀有金属材料与工程 年份：2004
根据内涨作用下薄膜发生鼓泡变形的原理,开发了1种新的适用于金刚石膜附着强度精确定量评价的测试系统.并在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了1种新的在沉积好的基片上制备...
[会议论文] 作者：张志明, 孙方宏, 沈荷生, 陈明, 万永中,,
来源： 年份：2004
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食Back to yield...
[期刊论文] 作者：李荣斌,胡晓君,沈荷生,何贤昶,
来源：功能材料 年份：2004
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,以丙酮为碳源,用二甲基二硫和三氧化二硼作掺杂源,在硅衬底上制备了硼与硫共掺杂的金刚石薄膜.用俄歇谱分析金刚石薄膜中硫的含量,...
[期刊论文] 作者：简小刚,孙方宏,陈明,张志明,沈荷生,凌行,
来源：上海交通大学学报 年份：2004
以氢气和丙酮为原料,采用电子增强热丝CVD法,在硅片(100)基底上涂覆一层金刚石薄膜,在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了一种新的在沉积好的基片上制备自支撑窗口试样的方...
[期刊论文] 作者：沈彬,孙方宏,张志明,沈荷生,郭松寿,
来源：中国有色金属学报（英文版） 年份：2004
提出微/纳米多层超光滑金刚石复合薄膜的沉积工艺,采用经过改进的热丝CVD沉积装置,能够在孔径d1.0 mm～60 mm的硬质合金拉拔模具内孔表面沉积具有优异耐磨减摩特性的超光滑金刚...
[期刊论文] 作者：胡晓君,李荣斌,沈荷生,戴永兵,何贤昶,
来源：无机材料学报 年份：2004
用离子注入方法,在CVD金刚石薄膜中共注入硼离子和磷离子,得到了电阻率较低的n型金刚石薄膜.Hall效应测试表明,800℃退火后,在注入的磷离子剂量相同的情况下,共注入硼的金刚...
[期刊论文] 作者：胡晓君,李荣斌,沈荷生,戴永兵,何贤昶,
来源：半导体学报 年份：2004
利用微波气相沉积方法制备了低电阻率的n型硫掺杂和硼硫共掺杂金刚石薄膜．质子激发X射线荧光测试表明硼硫共掺杂方法能够提高硫在金刚石中的溶解度；扫描电镜和Raman光谱的分析......
[期刊论文] 作者：胡晓君,戴永兵,何贤昶,沈荷生,李荣斌,
来源：物理学报 年份：2004
用分子动力学方法模拟了空位在金刚石近(001)表面的扩散过程,研究了温度对空位扩散的影响.结果表明,当温度为1000K左右时,位于近表面第二层上的空位开始向表面运动;当温度在1...
[期刊论文] 作者：汪涛,戴永兵,欧阳斯可,沈荷生,王庆康,吴建生,
来源：物理化学学报 年份：2004
采用平面波超软赝势描述多电子体系,利用密度泛函理论和广义梯度近似,计算出C54相和C49相TiSi2的晶格常数、体弹性模量、形成能、电子态密度(DOS)和Mulliken电荷布居等性质....
[期刊论文] 作者：欧阳斯可,汪涛,戴永兵,吴建生,何贤昶,沈荷生,
来源：半导体学报 年份：2004
摘要：采用微波等离子体退火方法使溅射的金属钴薄膜与(100)硅衬底发生固相反应直接生成CoSi2，证明了采用微波等离子体退火制备低阻硅化钴的可行性．通过X射线衍射图谱发现，当退火......
[期刊论文] 作者：欧阳斯可,汪涛,戴永兵,吴建生,何贤昶,沈荷生,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
采用微波等离子体退火方法使溅射的金属Ti膜与Si(111)衬底发生固相反应,直接生成低阻态的金属硅化物薄膜,XRD检测显示最终生成的C54相TiSi2在Si(111)衬底上有明显的织构,证明...
[期刊论文] 作者：欧阳斯可,汪涛,戴永兵,沈荷生,吴建生,何贤昶,
来源：新技术新工艺 年份：2004
采用微波等离子体加热方法对金属薄膜进行热处理,理论计算表明,微波可以透过纳米尺度的金属薄膜传播,从而可以使微波加热方式应用于金属薄膜的固相反应....
[期刊论文] 作者：胡晓君,李荣斌,沈荷生,何贤昶,邓文,罗里熊,
来源：物理学报 年份：2004
利用多普勒增宽谱和电子顺磁共振研究了掺硼和掺硫金刚石薄膜的缺陷状态 .多普勒增宽谱的结果表明 ,不同杂质元素掺杂的金刚石薄膜 ,其中使正电子湮没的缺陷种类是相同的 ;正...
[期刊论文] 作者：戴永兵,沈荷生,张志明,孙方宏,莘海维,何贤昶,胡晓君,
来源：物理学报 年份：2004
采用分子动力学方法模拟研究了未重构的金刚石/硅(001)面相接触时界面层原子的弛豫过程及所形成的异质界面的结构特征.硅碳二元系统中原子间的相互作用采用Tersoff多体经验势...
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