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[期刊论文] 作者：张威,方晓东,梁勖,
来源：量子电子学报 年份：2018
248 nm的KrF准分子激光是光纤布拉格光栅（FBG）的首选刻蚀光源。针对FBG的刻写要求,研制了一台小型化KrF准分子激光器,并进行了机械结构设计和改进。实验研究了充电电压、放电电...
[期刊论文] 作者：梁勖, 赵读亮, 林颖, 方晓东,,
来源：高电压技术 年份：2018
针对集成电路光刻用准分子激光光源的高重复频率、高精度和高稳定脉冲充电应用需求,设计了一种基于可控LC串联谐振的脉冲充电电源,采用实时检测电路总能量、短路电感中断谐振...
[期刊论文] 作者：黄御,梁勖,朱能伟,潘宁,林颖,方晓东,
来源：激光技术 年份：2018
柔性电子是可穿戴设备、物联网等应用发展的重要研究方向。激光剥离技术是一种利用激光能量来分离玻璃基板与柔性衬底的技术,具有作用光波长可选、作用时间短、热影响区域小...
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