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[期刊论文] 作者：张威,梁勖,陶汝华,方晓东,,
来源：红外与激光工程 年份：2016
248 nm的Kr F准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离...
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