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[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,黄德文,
来源：激光杂志 年份：2010
介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成。文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构。在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动...
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,余吟山,,
来源：量子电子学报 年份：2010
介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检测系统，实现了对0—200Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测。它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和...
[期刊论文] 作者：游利兵,梁勖,余吟山,,
来源：中国激光 年份：2010
准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸...
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,王涛,余吟山,,
来源：中国激光 年份：2010
介绍了一种准分子激光脉冲能量稳定系统。它由能量检测、开关电源和控制器组成。其组成部分均良好屏蔽,组件之间由光纤传递信息,通过均值算法进行脉冲-脉冲的放电电压调节,在...
[期刊论文] 作者：余吟山,游利兵,梁勖,方晓东,,
来源：中国激光 年份：2010
介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功...
[期刊论文] 作者：游利兵,周翊,梁勖,余吟山,方晓东,王宇,,
来源：量子电子学报 年份：2010
193nmArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90nm以下节点半导体量产。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术：主振一功率再生放大（MOPRA）结构，主振一功率振荡（MOPO）结构，主......
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