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[期刊论文] 作者：张易君,张粞程,栾明昱,曾陶,黄佳木,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2017
采用射频磁控溅射法,以铌靶和硅靶为靶材,在玻璃基片上沉积了NbSiN薄膜。研究了硅靶、铌靶功率、氮气流量以及溅射时间对薄膜光学性能的影响,得出实验室条件下的最佳制备工艺...
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