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[期刊论文] 作者：卢耀文,董云宁,杨传森,徐宇杰,闫睿,王汐月,陈俊儒,魏萌萌,郝慧萍,齐京,查良镇,
来源：真空科学与技术学报 年份：2021
本文设计出下限为5×10-16 Pa·m3/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题.采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导...
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