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[会议论文] 作者：陈旭,查良镇,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会 年份：2004
作者根据已了解的国内外真空计量、质谱和检漏领域的新进展，结合参加两个相关国际会议与对欧美的访问作简要综述。...
[期刊论文] 作者：,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
于2004年9月9日～11日在北京召开了五届十一次常务理事会，出席会议的有常务理事王西龙、王树理、江南、刘炳坤、刘鸿飞、达道安、杨乃恒、邵公田、沈先锋、庞世瑾、查良镇、姜燮...
[期刊论文] 作者：查良镇,朱昂如,,
来源：真空科学与技术 年份：2004
第四届国际二次离子质谱学会议(SIMS-Ⅳ)于1983年11月13日到19日在日本大阪城附近的箕面观光旅馆(Minoo Kanko Hotel,Osaka,Japan)举行。二次离子质谱学是近十多年发展起来...
[期刊论文] 作者：陈旭, 刘华荣, 查良镇,
来源：真空 年份：2004
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[期刊论文] 作者：陈旭,刘华荣,查良镇,Marcel Baril,
来源：真空 年份：2004
多级冲击采样器各级切割器的加工精度对采样器每一级截止直径的影响不同 ,其中最后一级切割器加工精度的影响最大。本文以新型多级冲击采样器为例 ,通过理论计算解释了这一现...
[期刊论文] 作者：刘翔宇, 赵来, 许生, 范垂祯, 查良镇,,
来源：真空 年份：2004
磁控溅射已发展为工业镀膜生产中最主要的技术之一。对在镀膜批量生产中普遍存在的靶材利用率、溅射速率和沉积速率低以及溅射过程不稳定等突出问题 ,固然可用优化电源设计和...
[会议论文] 作者：黄天斌;陈旭;金奇计;曾鹏;查良镇;,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会 年份：2004
本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估.实验...
[会议论文] 作者：肖立波,陈旭,陈聘,金奇计,查良镇,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会 年份：2004
本文结合国内外超灵敏度检漏技术的发展现状,研制了一套超灵敏度检漏系统.实验表明,该装置能稳定提供10-14Pa.m3/s的氦流量,可解决超灵敏度检漏实时校准的难题....
[期刊论文] 作者：李得天, 陈旭, 于红燕, 张涤新, 费渭南, 查良镇,
来源：真空与低温 年份：2004
回顾了近50多年来中国真空计量的发展历史.内容包括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准,从中可对中国真空计量的历史渊源和现状有一个完整的了...
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