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[期刊论文] 作者：陈娉,陈旭,金奇计,查良镇,
来源：真空 年份：2003
为适应对真空及压力器件密封性日益增长的要求 ,尤其是确保小体积密封真空器件的长期可靠性 ,研制了一套超灵敏度检漏系统。这套全金属的超高真空系统主要由分子泵、离子泵、...
[期刊论文] 作者：赵来,刘翔宇,许生,范垂祯,高文波,陈旭,杨美芹,查良镇,
来源：真空 年份：2003
具有高折射率的 Ti O2 膜在反射型液晶显示器的关键部件高反射率背板膜系的制备中起重要作用。本文使用国内首家在线中频双靶反应磁控溅射设备进行了制备 Ti O2 膜的探索 ,完...
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