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[期刊论文] 作者：徐嘉东,商作起,李建明,杨占坤,王培大,
来源：微细加工技术 年份：2004
本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。This paper describes the improved P...
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