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[会议论文] 作者：陈运祥,秦廷辉,谭学斌,杨正兵,伍平,杜明熙,周勇,冷俊林,
来源：2008促进中西部发展声学学术交流会 年份：2008
本文阐述了高声速SAW复合结构材料SiO2/ZnO/金刚石/Si及其器件的研究进展情况,给出了该复合结构材料及其器件的制作方法和实验结果.ZnO膜体电阻率ρ,达到1.9×109 Ω.cm。ZnO...
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