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[期刊论文] 作者：于晓梅,张大成,李婷,王小宝,阮勇,杜先锋,
来源：半导体学报 年份：2003
在一个芯片上设计了六组不同规格的矩形压阻悬臂梁 .采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析 ,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究 .选用多晶硅为压阻材料 ,以硅微机械加工技术为基础 ,完成了阵列式压阻悬臂梁的制备 .通过......
[期刊论文] 作者：YU Xiao-Mei(于晓梅),ZHANG Da-Cheng(张大成),WANG Cong-Shun(王丛舜),DU Xian-Feng(杜先锋),WANG Xiao-Bao(王小宝),RUAN Yong,
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2003
U-shaped and rectangle piezoresistive cantilever arrays have been designed with the analysing results of stress,noise and sensitivity of the cantilevers. Based...
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