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[期刊论文] 作者：邓文渊,李春,金春水,,
来源：中国光学与应用光学 年份：2010
HfO2薄膜在紫外光学中具有十分重要的地位，不同方法制备的HfO2薄膜特性不同，可以满足不同的实际应用需求。本文分别利用电子束蒸发和离子束溅射方法制备了用于紫外光区域的HfO2...
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