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[会议论文] 作者：郭杰,王静宇,李振豪,
来源：第八届真空技术应用学术年会 年份：2005
在SiO2/Si衬底上采用直流磁控溅射沉积复合金属薄膜Pt/Ti作为电极,薄膜电导率高,结构致密且表面无空洞等缺陷;在Pt/Ti/SiO2/Si结构衬底上采用射频磁控溅射沉积锆钛酸铅薄膜(P...
[会议论文] 作者：李振豪;王忠华;李琳;信思树;普朝光;杨培志;,
来源：第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会 年份：2005
采用射频磁控溅射方法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备出厚450nm的PZT铁电薄膜.在550℃、600℃、650℃和700℃下对PZT铁电薄膜进行了快速退火热处理,并在退火处理后用X...
[会议论文] 作者：王忠华;赵维艳;李振豪;普朝光;杨培志;林猷慎;,
来源：第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会 年份：2005
采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜.用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层.在衬底PZT(seedlayer)Pt/Ti/SiO2/Si上用射频磁控溅射Pb1.1(Zr0.3Ti0....
[会议论文] 作者：信思树,普朝光,赵维艳,李振豪,王忠华,杨培志,
来源：第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会 年份：2005
铁电薄膜具有良好的热释电性、压电性、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上新型功能材料研究的热点之一.本文综述了近年来铁电薄膜及其制备技术研究进展,对比了铁电薄膜的主要制备技术......
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