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[期刊论文] 作者：纪军,李拂晓,陈银龙,,
来源：国防制造技术 年份：2009
本文通过介绍微电子器件制造的主要流程,概括了主要的微电子制造工艺技术以及这些技术的特点。在分析以往发展规律的基础上,结合当今微电子技术的现状,阐述了未来微电子发展...
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