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[期刊论文] 作者：王义冬, 李庆春, 赵慧,
来源：计算机测量与控制 年份：2023
压电陶瓷驱动器的最大迟滞非线性误差可以超过输出行程的15%,而快刀伺服系统（FTS）要求重复定位精度优于10 nm,相对线性度误差优于0.5%,压电陶瓷驱动器的误差无法满足该精度要求；首先对压电陶瓷迟滞非线性误差进行实验分析，将迟滞非线性误差分为频率无关迟滞现象和频......
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