搜索筛选:
搜索耗时0.6945秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：李士元, 付恩刚, 庄大明, 张弓,
来源：材料科学与工艺 年份：2005
对于交流磁控溅射氧化锌铝陶瓷靶材制备ZAO薄膜,研究了氧流量、基体温度、靶电流密度、铝的掺杂量、本底真空压力和工作气体压力对ZAO薄膜电学性能的影响规律,优化了工艺参数...
相关搜索：
