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[期刊论文] 作者：李培咸,郝跃,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
本文提出了一种新型的MOCVD恒流配气系统，该配气系统可有效地稳定控制温度和压力等关键工艺条件，在多层复杂结构的生长中改善材料质量。本文给出了该配气系统同传统配气方式生......
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