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[期刊论文] 作者：马勤,完彦少君,朱雪斌,火照燕,韩莉,
来源：材料导报 年份：2018
三元金属氮化物薄膜是一类在电子、铁磁等领域具有广阔应用前景的新材料,主要有立方金属（反）钙钛矿和立方η碳化物（η-carbide）两种结构类型,由于其卓越的性能如高硬度、超导性、......
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