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[期刊论文] 作者：胡世昌,朱辉杰,马铭骏,刘义冬,金仲和,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2013
本文利用一由两个相互垂直的加速度计组成的栅结构谐振器来同时测量x轴和y轴的加速度以及z轴的输入角速度.此谐振器利用变面积电容进行检测,具有良好的线性度及快速的信号响...
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