搜索筛选:
搜索耗时0.5090秒,为你在为你在102,267,441篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：朱宇波,母志强,陈玲丽,朱雷,李卫民,俞文杰,
来源：压电与声光 年份：2022
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器（HBAR）,研究了钪（Sc）掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明，当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时，压电应力系数e33增加、刚度CD33下降，导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数kt~2从5.6%提升至15.8%,从......
相关搜索：
