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[期刊论文] 作者：孙颖,朱大中,,
来源：浙江大学学报(工学版) 年份：2016
提出新型隔离结构的光寻址电位传感器（LAPS）阵列.该传感器采用P型绝缘体上的硅（SOI）衬底,利用SOI顶硅层中的硅隔离槽结合重掺杂P＋区进行相邻阵列单元的隔离.SOI LAPS阵列的ISE-TCA...
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