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[期刊论文] 作者:刘晓东, 谈淑咏, 霍文燚, 张旭海, 邵起越, 方峰,, 来源:材料研究学报 年份:2019
采用直流磁控溅射法制备(CoCrFeNi)Nx高熵薄膜,研究了氮流量比对薄膜的力学性能和电磁性能的影响。结果表明,在不同氮流量比条件下制备的(CoCrFeNi)Nx薄膜,都具有致密的组织...
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