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[期刊论文] 作者:范懿锋, 董礼, 张延伟, 王智彬, 孟猛, 来源:电子元件与材料 年份:2023
半导体先进制程工艺逐步趋于极限,继续沿摩尔定律发展的脚步放缓,而扇出型晶圆级封装(Fan-out Wafer Level Packaging, FOWLP)通过晶圆重构的方式突破了传统扇入封装的I/O引出端的数量限制,并利用多层再布线(Redistribution Layer, RDL)等技术,缩小引脚间距,减薄封装厚度......
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