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[学位论文] 作者：张凯锋,
来源：华中科技大学 年份：2023
随着超大规模电路尺寸不断缩减,芯片制造受到光刻可印刷技术限制,即光源波长与电路特征尺寸不匹配会引起光刻版图热点（包括:边角圆化、线端缩短、线宽偏差）,这些热点模式将影响电路电学特性。传统基于光刻仿真、模式匹配和机器学习的光刻版图热点检测方法仍存在一......
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