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[会议论文] 作者:李博,巴德纯,王晓冬, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
本文对直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC)在应用于真空技术问题研究时的具体流程进行了详细介绍。在DSMC 方法中,为达到不同的目的 使用不同的概率分布,初始化颗粒数量时,使用泊松分布;如果颗粒均匀分布,坐标将用均匀分布来生成;速度分量通常使用麦克斯韦—玻耳兹曼分布分布......
[期刊论文] 作者:王贺权,巴芳,李海峰,巴德纯,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2016
采用射频磁控溅射的方法通过改变氧分压和基体温度在非晶超白玻璃上沉积了一系列Nb掺杂Ti O_2薄膜,富氧状态下的薄膜为锐钛矿相且绝缘,少氧状态下的薄膜为金红石相但电阻率太...
[期刊论文] 作者:姜文全,杜广煜,巴德纯,杨帆,, 来源:真空 年份:2016
研究了微孔金属薄膜的微观变化和阻尼性能,采用扫描电镜(SEM)原位观察实验方法对带孔金属薄膜微观结构和阻尼进行分析。分析得到:交变载荷拉伸加载过程中微纳米孔缺陷试件经...
[期刊论文] 作者:张健,巴德纯,刘坤,杜广煜,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2016
AlO_x薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长...
[会议论文] 作者:刘坤,孙松刚,刘文丽,巴德纯, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
传统涡旋真空泵清洁度高、运行平稳、结构简单、可靠性高、抽气性能好、节省能源、维护方便等优点,因此被广泛应用于半导体行业、制药化工行业、科学仪器等领域。目前普遍采用的提高抽气性能有这几种方法:提高转速、改变型线、布置双侧涡盘、增大外形尺寸等。囿于......
[期刊论文] 作者:王晓冬,张磊,巴德纯,陶继忠, 来源:东北大学学报:自然科学版 年份:2016
建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系...
[会议论文] 作者:刘坤,巴德纯,张振厚,王光玉, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
干式真空泵为IC 装备、薄膜电子、制药化工、科研仪器等行业提供洁净的真空环境,其内部稀薄气体传输过程极其复杂。研究具有高可靠性的干泵设计理论,是解决困扰国内真空泵制造业的巨大难题。本文从干泵转子型线设计、稀薄气体输送、多物理场耦合、运转态分析等多......
[会议论文] 作者:李国浩,巴德纯,杜广煜,刘坤, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
近年来,随着科学技术的发展,航空发动机逐步向高压、高温、高速的方向发展。航空发动机中重要结构件的损伤会导致严重的后果,因此研究如何减少振动疲劳损伤,提高结构件使用寿命有很大的意义。然而高阻尼的材料的阻尼性能不仅仅取决于材料本身,在现有的结构基础上采用......
[期刊论文] 作者:王晓冬,张磊,巴德纯,蒋婷婷,陶继忠,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2016
采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡...
[期刊论文] 作者:张健,巴德纯,赵崇凌,杜广煜,刘坤,, 来源:功能材料 年份:2016
AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N2O和TMA特气比...
[会议论文] 作者:王晓冬,巴德纯,张磊,张鹏飞,陶继忠, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
复合分子泵具有抽速大、压缩比高的特点,在较宽压力范围内具有较高的抽气性能,已经成为检测仪器、半导体、薄膜制备等装置中清洁高真空环境获得的重要设备。针对涡轮-筒式复合分子泵的结构特点,提出了改进抽气性能的涡轮级与筒式牵引级间的过渡结构,并以科技部重大......
[会议论文] 作者:张英莉,李阳,车书刚,巴德纯,岳向吉, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
涡旋干式真空泵具有洁净无油、体积小、工作压力范围宽、振动小、噪声小等优点,被广泛应用于半导体制造、生物制药等需求清洁真空的行业。本文基于 CFD 方法和动网格技 术建立了涡旋干式真空泵内瞬态流动的仿真模型,并对粘滞流态下的工况进行了数值计算,模拟的抽速......
[会议论文] 作者:车书刚,夏云龙,张英莉,巴德纯,岳向吉, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
真空科学与技术广泛应用于冶金、电子和航空航天等重要领域.一般真空抽气系统 的组成和抽气过程较为复杂,难以对其进行准确的计算和预测.本文基于计算流体力学(CFD)方法,首先针对一个典型真空系统进行建模并模拟计算了从大气压至 30Pa 的抽气过程,与传统抽气时间计......
[会议论文] 作者:张鹏飞,王晓冬,巴德纯,张磊,李博,陶继忠, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
涡轮分子泵是获得清洁高真空的重要设备涡轮分子泵单叶列传输几率的计算是设计分子泵的基础,通过Monte-Carlo 可以在计算机上直接模拟单个分子在叶片通道内的运动经历及其最终结果,从而计算涡轮分子泵单叶列的传输几率单叶列的在使用Monte-Carlo 法计算涡轮分子......
[会议论文] 作者:张磊,王晓冬,巴德纯,张鹏飞,李博,陶继忠, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
涡轮叶片与筒式牵引分子泵组合成的复合分子泵具有抽速大、压缩比高的特点,能够在较宽的压力范围内工作。但在涡轮级与牵引级衔接处存在抽气效率低的问题,限制了分子泵抽气性能的提高。本文提出在涡轮级与筒式牵引级之间增加一牵引盘过渡结构,这样能充分利用盘式牵......
[会议论文] 作者:姚文浩,刘坤,陈树雷,谢元华,王东阳,巴德纯, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
非晶硅因其具有吸收系数高、适用于柔性衬底和大批量卷对卷制造工艺的特点因而在薄膜太阳能电池制造领域得到广泛普及.作为薄膜太阳能电池的本征层,本征非晶硅的光电特性对于薄膜太阳能电池的性能至关重要.本文利用磁控溅射技术在柔性衬底PET 上沉积本征非晶硅......
[会议论文] 作者:陈树雷,刘坤,宁英超,杜广煜,谢元华,巴德纯, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
液滴微流控技术是微流控技术的一个重要组成内容,也是目前研究最为广泛的微流控技术之一[1-3].弹状流的生成与输运表现出与其他流型不同的特性,备受关注,在微给药、微分离、微浓缩等研究领域具有广泛的应用前景.本文通过粒子图像测速系统(Micro-PIV)对T 型PDMS ......
[会议论文] 作者:陈树雷,刘坤,宁英超,蔺增,巴要帅,巴德纯, 来源:中国真空学会2016学术年会 年份:2016
聚二甲基硅氧烷(PDMS)具有透光性优良、化学性质稳定、加工简便、价格低廉以及生物兼容性等特点,是目前微流控芯片制备中常见的聚合物有机材料[1-2]。它的高疏水性限制了其在微流控技术领域的进一步应用,因此对PDMS 的表面改性或修饰成为增强应用范围的有效方法......
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