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[期刊论文] 作者:, 来源:真空 年份:2007
东北大学在沈阳已成功举办了三期《真空技术》培训班,由杨乃恒、刘玉岱、巴德纯、李...
[期刊论文] 作者:佟洪波,巴德纯,闻立时,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2007
研究了用反应磁控溅射的方法制备氮化铝薄膜。由于铝和氮化铝二次电子发射系数有很大的不同,导致制备时会在金属模式和化合物模式间出现一个很大的跃迁。为了准确描绘实验结...
[期刊论文] 作者:佟洪波,巴德纯,闻立时,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2007
利用中频反应磁控溅射成功制备了AIN薄膜。研究了过程参数例如靶电流、溅射气压和氮浓度对AIN薄膜沉积速率和光学性能的影响规律。实验结果表明,在优化制备工艺的基础上,能够制......
[期刊论文] 作者:巴德纯,佟洪波,闻立时,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2007
研究了Mn或Cu掺杂的非晶AlN薄膜在室温下的发光性质。Cu或Mn掺杂的非晶AlN薄膜是在玻璃衬底上采用中频反应磁控溅射制备的。X射线衍射(XRO)结果表明薄膜为非晶。由X射线能谱(EDX...
[期刊论文] 作者:蔺增,巴德纯,王凤,, 来源:东北大学学报(自然科学版) 年份:2007
利用射频等离子体增强化学气相沉积(rf PECVD)工艺在不锈钢基底上制备a-C:H膜,利用激光Raman光谱表征所沉积碳膜的微观结构,特别是通过对拉曼谱图进行洛伦兹分解来评价所沉积碳...
[会议论文] 作者:刘波,巴德纯,钟亮, 来源:第八届真空冶金与表面工程学术会议 年份:2007
本文采用DSMC方法对圆弧通道盘型分子泵3D流场进行了数值模拟研究.首先,介绍了圆弧通道盘型分子泵的几何模型;接下来描述了使用DSMC方法进行圆弧通道盘型分子泵3D流数值模拟...
[期刊论文] 作者:杨乃恒,巴德纯,刘坤,, 来源:真空 年份:2007
本文综合一些国内外有关资料,讨论了钢液炉外精炼设备真空系统设计中的一些技术问题,对放气量的确定、真空系统的气体负荷的等效换算以及真空泵容量的选择和能源消耗等进行了...
[期刊论文] 作者:蔺增,巴德纯,王凤,李明,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2007
利用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)方法,以CH4、Ar和H2为气源,在CR-39树脂材料上制备出了含氢非晶碳膜(a-C:H膜)。研究了不同偏压对a-C:H膜生长过程和光学特性的影响。使用......
[期刊论文] 作者:李明,蔺增,王凤,巴德纯,, 来源:东北大学学报(自然科学版) 年份:2007
利用射频等离子体增强化学气相沉积技术在不锈钢表面制备了含氢非晶碳膜.采用Raman光谱、红外光谱、x射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在栓盘摩......
[期刊论文] 作者:李明,王凤,蔺增,巴德纯,, 来源:真空 年份:2007
提出一种新型复合固体润滑膜,并讨论了该复合膜的结构和作用机理。复合结构的基本组成是传统硬质涂层TiN和TiC的结合,最上面的固体润滑膜是用射频等离子体增强化学气相沉积(R...
[期刊论文] 作者:王铁,巴德纯,王庆,茹红强,, 来源:东北大学学报(自然科学版) 年份:2007
建立了包含阻尼的悬架系统振动微分方程,运用现代控制工程理论进行拉普拉斯变换,以解线性方程组与待定系数的方法求解传递函数解析解。通过拉普拉斯反变换求出振幅解析解.在对拉......
[期刊论文] 作者:常学森,巴德纯,闻立时,刘坤,, 来源:真空与低温 年份:2007
通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上。利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流......
[期刊论文] 作者:巴德纯,常学森,闻立时,刘坤,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2007
采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不...
[期刊论文] 作者:佟洪波,巴德纯,肖金泉,闻立时,, 来源:真空 年份:2007
介绍了AlN薄膜物理性质及制备方法;综述了AlN薄膜作为薄膜电致发光(TFEL)器件发光层的研究现状;对AlN薄膜发光性能的应用前景做了展望。The physical properties and prepa...
[会议论文] 作者:常学森,巴德纯,闻立时,刘坤, 来源:第八届真空冶金与表面工程学术会议 年份:2007
应用反应磁控溅射技术,在玻璃基底(载玻片)上制备出纳米TiO2薄膜,X射线衍射(XRD)分析表明薄膜为锐钛矿相,纳米TiO2薄膜经紫外光照射后具有优良的亲水性能.采用上海中晨电动自...
[会议论文] 作者:王贺权,巴德纯,沈辉,闻立时, 来源:第八届真空冶金与表面工程学术会议 年份:2007
应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,为将来应用磁控溅射方法制备TiO2染料敏化太阳电池总结数据.通过扫描电子显微镜发现当总压强为2×10-1Pa、O2流量为15sccm、靶基距为190mm、温度为120℃的条件下,制备的TiO2薄膜的表面形貌呈现为疏松多孔的......
[会议论文] 作者:岳向吉,巴德纯,刘波,巴要帅, 来源:第八届真空冶金与表面工程学术会议 年份:2007
给出了旋片真空泵理论抽速计算公式和一种2XZ-4型旋片泵的设计实例及实验结果.采用遗传算法进行优化设计,计算结果表明:增大相对偏心距、减小旋片相对厚度和选择适当的旋片数...
[期刊论文] 作者:段永利,许生,巴德纯,范垂祯,, 来源:辽宁工程技术大学学报 年份:2007
采用中频反应磁控溅射方法在玻璃表面制备了TiO2薄膜,为使薄膜获得理想的化学配比和较高的沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(Plasma Emission Monitor,PEM)对溅射过程进行控...
[期刊论文] 作者:廖国进,闻立时,巴德纯,刘斯明,, 来源:东北大学学报(自然科学版) 年份:2007
采用中频反应磁控溅射技术在玻璃基片上制备了Al2O3薄膜,提出了一种利用透射光谱来简单有效地分析弱吸收薄膜的光学特性及与光学相关的其他物理特性的方法.对Al2O3薄膜进行透...
[会议论文] 作者:王凤,李明,周福君,蔺增,巴德纯, 来源:第八届真空冶金与表面工程学术会议 年份:2007
本文利用等离子体增强化学气相沉积技术,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)树脂片上沉积了含氢非晶碳(a-C:H)膜,利用可见光和紫外激发双波段的拉曼光谱分析了所沉积薄膜的结构特征,并对两种拉曼光谱进行了比较研究.测试分析结果表明,紫外拉曼光谱能够很好地屏蔽掉由于薄......
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