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[期刊论文] 作者：张巍, 巩岩,,
来源：光学精密工程 年份：2008
离轴照明作为一种重要的分辨率增强技术被广泛地应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件（DOE）作为光刻照明系统的光束整形器件，能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明......
[期刊论文] 作者：巩岩,张巍,,
来源：中国光学与应用光学 年份：2008
投影曝光工艺是集成电路制造过程中的关键环节,曝光系统的工艺水平已成为衡量微电子制造技术的重要标志。重点介绍了目前193 nm光刻设备曝光系统的发展现状和趋势,以及为提高...
[期刊论文] 作者：胡宜宁,巩岩,,
来源：宇航学报 年份：2008
为了对星敏感器进行功能和性能方面的测试,需要使用星模拟器,为其提供任一时刻、任一惯性坐标系下指向的模拟星图。星敏感器较短的积分时间特性,要求星模拟器具有较短的采样...
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