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[期刊论文] 作者：,
来源：工业控制计算机 年份：2010
9月6日,由中国科学院上海微系统与信息技术研究所宋志棠研究员主持承担的863计划重点课题项目＂相变随机存储器存储材料及关键技术＂通过中期检查。...
[期刊论文] 作者：张泽芳,刘卫丽,宋志棠,,
来源：半导体学报 年份：2010
The effect of the ammonium molybdate concentration on the material removal rate(MRR) and surface quality in the preliminary chemical mechanical polishing(CMP) o...
[期刊论文] 作者：李宜瑾,凌云,宋志棠,贾晓玲,罗胜钦,
来源：功能材料与器件学报 年份：2010
设计了0.13um标准CMOS工艺下相变存储器（PCM）中选通二极管的二维工艺模型,利用数值模拟方法进行仿真,对模型中关键参数的优化,得到了一个性能优化的P＋/N-/N＋结构的选通二极管,此...
[期刊论文] 作者：汪海波,俞沁聪,刘卫丽,宋志棠,张楷亮,
来源：功能材料与器件学报 年份：2010
系统研究了抛光液的pH值、抛光压力和相对转速等因素对蓝宝石抛光速率和表面粗糙度的影响，研究结果表明：随pH值（9—12）的升高，抛光速率增加，表面粗糙度先降低后升高；随抛光压力和相......
[期刊论文] 作者：王金合,费立诚,宋志棠,张静,周为民,张剑平,,
来源：微纳电子技术 年份：2010
总结了纳米压印技术的最新进展,其中包括压印工艺、图形赋形方法以及纳米压印技术应用三方面最新的研究成果。在压印工艺的发展方面,大面积滚轴压印的发明最具有产业化意义,...
[期刊论文] 作者：李宜瑾,凌云,宋志棠,龚岳峰,罗胜钦,贾晓玲,,
来源：电子器件 年份：2010
由于二极管在单元尺寸上的优势,被认为是高密度相变存储器中驱动管的不二之选。如果制备二极管的工艺参数不恰当,则大的漏电流会影响PCRAM存储数据的准确性和长久的保持力。...
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