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[会议论文] 作者：吴良才,陈坤基,宋志棠,
来源：第三届上海纳米科技与产业发展研讨会 年份：2006
利用O2等离子体氧化单晶硅衬底的方法制备SiO2薄膜作为隧穿势垒,利用laverbylayer方法在SiO2隧穿势垒上原位制备纳米硅(nanocrystalline Si,nc-Si)量子点,然后再原位等离子体...
[期刊论文] 作者：吕士龙,宋志棠,封松林,,
来源：微纳电子技术 年份：2006
介绍了在相变材料上的曝光工艺研究，得出了相应的工艺条件，研究了邻近效应的影响以及利用邻近效应制作nm量级间隔大电极对的方法。...
[期刊论文] 作者：刘波,宋志棠,封松林,Chen,Bomy,
来源：半导体学报 年份：2006
采用磁控射频溅射法制备了Ge2Sb2Te5薄膜,利用离子注入法研究了硅掺杂对薄膜结构和电阻性能的影响.研究发现,由于硅的掺杂,Ge2Sb2Te5薄膜的结构不仅保留了原有的面心立方低温...
[期刊论文] 作者：夏吉林,刘波,宋志棠,封松林,
来源：半导体学报 年份：2006
研究了磁控溅射制备Ge2Sb2Te5薄膜时,制备条件诸如功率、气压等对薄膜性能的影响.主要通过测量薄膜方块电阻随退火温度的变化情况,探索Ge2Sb2Te5薄膜的成长机理.实验结果表明...
[期刊论文] 作者：钟旻, 张楷亮, 宋志棠, 封松林,,
来源：润滑与密封 年份：2006
CMP已成为IC制造中的关键工艺之一,相关机制模型的研究是当前CMP的热点。综述了考虑抛光液的流动、抛光垫的弹性和硬度、研磨颗粒的大小和硬度等不同因素的机制模型,并对基于...
[期刊论文] 作者：钟旻,张楷亮,宋志棠,封松林,
来源：半导体学报 年份：2006
针对硅衬底的化学机械抛光,采用自制的大粒径硅溶胶抛光液进行抛光实验,研究了抛光液中主要组分对抛光速率和表面平整度的影响,以提高抛光速率和抛光质量,采用测厚仪、AFM、...
[会议论文] 作者：吴良才[1]陈坤基[2]宋志棠[3],
来源：第三届上海纳米科技与产业发展研讨会 年份：2006
利用O2等离子体氧化单晶硅衬底的方法制备SiO2薄膜作为隧穿势垒,利用laverbylayer方法在SiO2隧穿势垒上原位制备纳米硅(nanocrystalline Si,nc-Si)量子点,然后再原位等离子体...
[期刊论文] 作者：梁爽,宋志棠,刘波,陈小刚,封松林,,
来源：半导体技术 年份：2006
通过计算机控制脉冲信号发生器和数字信号源等硬件设备，实现对硫系化合物随机存储器（C-RAM）器件性能的测试。该系统主要有电流与电压关系测试、电压与电流关系测试、电阻与所加......
[会议论文] 作者：张楷亮;王良咏;宋志棠;封松林;,
来源：第三届上海纳米科技与产业发展研讨会 年份：2006
低应力、低损伤CMP要求抛光压力有所降低,从而影响了抛光效率。为改善抛光效率,大粒径胶体二氧化硅成为CMP所急需的研磨料。本文以廉价的水玻璃为原料,采用离子交换一分水控...
[期刊论文] 作者：刘波，宋志棠，封松林，ChenBomy，LiuBo，SongZhitang，FengSonglin，ChenBomy,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：张楷亮,宋志棠,钟旻,郑鸣捷,封松林,
来源：半导体学报 年份：2006
为提高硅晶片双面超精密抛光的抛光速率,在分析双抛工艺过程基础上,采用自制大粒径二氧化硅胶体磨料配制了SIMIT8030-Ⅰ型新型纳米抛光液,在双垫双抛机台上进行抛光实验.抛光...
[期刊论文] 作者：詹达,马小波,刘卫丽,宋志棠,封松林,
来源：半导体学报 年份：2006
通过N+等离子体对Si片以及SiO2片表面活化,进行直接键合,研究了键合强度与退火温度的关系.研究结果表明退火温度从100℃升高到300℃的过程中,键合强度明显加强;高于300℃,键...
[期刊论文] 作者：夏吉林，刘波，宋志棠，封松林，XiaJilin，LiuBo，SongZhitang，FengSonglin,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：刘奇斌,张楷亮,王良咏,宋志棠,封松林,
来源：半导体学报 年份：2006
从电化学角度研究了Ge2Sb2Te5薄膜在化学机械抛光液中的作用,以及不同的pH值和H2O2浓度下的电化学特性.采用Solartron SI1287电化学设备测试了Ge2Sb2Te5薄膜在溶液中的开路电...
[期刊论文] 作者：钟旻，张楷亮，宋志棠，封松林，ZhongMin，ZhangKailiang，SongZhitang，FengSonglin,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：孙明达,韩晓东,张晓娜,张泽,刘波,宋志棠,封松林,
来源：2006年全国电子显微学会议 年份：2006
Sb2Te3是一种基础的功能材料,在掺杂基础上主要应用其温差电特性作为新型能源如太阳能和应用其固态相变特性作为随机存储器的关键材料.其中下一代基于CMOS(complementary metal oxide semiconductor)技术的电脉冲致相变随机存储器需要在GeTe-Sb2Te3体系的背景下......
[期刊论文] 作者：詹达，马小波，刘卫丽，宋志棠，封松林，ZhanDa，MaXiaobo，LiuWeili，SongZhitang，FengSonglin,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：张楷亮，宋志棠，钟旻，郑鸣捷，封松林，ZhangKailiang，SongZhitang，ZhongMin，ZhengMingjie，FengSonglin,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：刘奇斌，张楷亮，王良咏，宋志棠，封松林，LiuQibin，ZhangKailiang，WangLiangyong，SongZhitang，FengSonglin,
来源：城市道桥与防洪 年份：2006
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：张苗,狄增峰,刘卫丽,骆苏华,宋志棠,朱剑豪,林成鲁,
来源：半导体学报 年份：2006
对Ge浓缩技术进行改进,通过对Si/SiGe/Si三明治结构氧化退火,成功制备了Ge含量高达18%的SGOI材料.实验结果表明:顶层的Si可以有效抑制SiGe层氧化初期Ge元素的损失,退火过程有...
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